Dynamisk skanningsoptisk systemoptikk: 1 stk. liten fokuslinse, 1-2 stk. fokuslinse, Galvo-speil. Hele den optiske linsen danner en funksjon av stråleutvidelse, fokusering og stråleavbøyning og skanning.
Den ekspanderende delen er en negativ linse, dvs. en liten fokuslinse, som realiserer stråleekspansjon og bevegelig zoom, mens fokuslinsen består av en gruppe positive linser. Galvospeilet er et speil i galvanometersystemet.
(1) Optimalisering av linsedesign: Optimalt forhold mellom diameter og tykkelse
(2) Høy skadeterskel for linsen: >30J/cm2 10ns
(3) Ultralavabsorberende belegg, absorpsjonshastighet: <20 ppm
(4) Forhold mellom galvanometertykkelse og diameter: 1:35
(5) Nøyaktighet på linseoverflaten: <= λ/5
Post-objektiv linse
| Maks. inngangspupill (mm) | Optikk 1 Diameter (mm) | Optikk 2 Diameter (mm) | Optikk 3 Diameter (mm) | Skannefelt (mm) | Klar blenderåpning av skanner (mm) | Bølgelengde |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10,6 um |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030–1090 nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532 nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 nm |
Reflektorspeil
| Delbeskrivelse | Diameter (mm) | Tykkelse (mm) | Materiale | Belegg |
| Silikonreflektor | 25.4 | 3 | Silisium | HR@10.6um,AOI: 45° |
| Silikonreflektor | 30 | 4 | Silisium | HR@10.6um,AOI: 45° |
| Fiberreflektor | 25.4 | 6,35 | Smeltet silika | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| Fiberreflektor | 30 | 5 | Smeltet silika | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| Fiberreflektor | 50 | 10 | Smeltet silika | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| 532 Reflektor | 25.4 | 6 | Smeltet silika | HR@515–540 nm/532 nm, AOI: 45° |
| 532 Reflektor | 25.4 | 6,35 | Smeltet silika | HR@515–540 nm/532 nm, AOI: 45° |
| 532 Reflektor | 30 | 5 | Smeltet silika | HR@515–540 nm/532 nm, AOI: 45° |
| 532 Reflektor | 50 | 10 | Smeltet silika | HR@515–540 nm/532 nm, AOI: 45° |
| 355 Reflektor | 25.4 | 6 | Smeltet silika | HR@355nm og 433nm, AOI: 45° |
| 355 Reflektor | 25.4 | 6,35 | Smeltet silika | HR@355nm og 433nm, AOI: 45° |
| 355 Reflektor | 25.4 | 10 | Smeltet silika | HR@355nm og 433nm, AOI: 45° |
| 355 Reflektor | 30 | 5 | Smeltet silika | HR@355nm og 433nm, AOI: 45° |
Galvo-speil
| Delbeskrivelse | Maks. inngangspupill (mm) | Materiale | Belegg | Bølgelengde |
| 55 mm L * 35 mm B * 3,5 mm T-X 62 mm L * 43 mm B * 3,5 mm T-Y | 30 | Silisium | MMR@10.6um | 10,6 um |
| 55 mm L * 35 mm B * 3,5 mm T-X 62 mm L * 43 mm B * 3,5 mm T-Y | 30 | Smeltet silika | HR@1030–1090nm | 1030–1090 nm |
| 55 mm L * 35 mm B * 3,5 mm T-X 62 mm L * 43 mm B * 3,5 mm T-Y | 30 | Smeltet silika | HR@532nm | 532 nm |
| 55 mm L * 35 mm B * 3,5 mm T-X 62 mm L * 43 mm B * 3,5 mm T-Y | 30 | Smeltet silika | HR@355nm | 355 nm |
Beskyttende linse
| Diameter (mm) | Tykkelse (mm) | Materiale | Belegg |
| 75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2,5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
